高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10 -6(ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求，需要達(dá)到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。

對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

高純氣體的配管及材質(zhì)

高純氣體管道的設(shè)計要點(diǎn)：

1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管道設(shè)計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設(shè)計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

5.對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規(guī)定時間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

1. 硅烷容器：用于儲存硅烷氣體。
2. 氣體面板或氣柜：具有減壓過濾、吹掃、排氣、安全控制等功能。
3. 閥門分配箱：將主管道分成多個支路進(jìn)行供氣。在打開VMB支路前后，均需要采用惰性氣體進(jìn)行吹掃。
4. 連接管道：連接各部分，確保氣體的傳輸。

硅烷供氣系統(tǒng)的設(shè)計要求包括：

1. 防止回流：由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置。
2. 排氣管要求：排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該獨(dú)立于其它氣體排氣系統(tǒng)。如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。
3. 安全控制：由于硅烷與空氣會自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當(dāng)發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生。
4. 潔凈要求：硅烷管道要求潔凈，焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。
5. 閥門要求：硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。
6. 配送系統(tǒng)：在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開關(guān)，以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。

以上是硅烷供氣系統(tǒng)的基本構(gòu)成和設(shè)計要求，具體細(xì)節(jié)可咨詢相關(guān)技術(shù)人員。

硅烷尾氣焚燒處理

硅烷供氣的特點(diǎn)主要表現(xiàn)在其純度高、雜質(zhì)含量低、穩(wěn)定性好以及使用安全等方面。

1. 純度高：硅烷氣體純度高，可達(dá)到99.999%以上，能滿足各種高精度的使用需求。
2. 雜質(zhì)含量低：硅烷氣體中雜質(zhì)含量極低，其純度穩(wěn)定性好，這使得使用效果更佳。
3. 穩(wěn)定性好：硅烷氣體在常溫下穩(wěn)定，無毒無味，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不易燃易爆，使用安全。
4. 使用安全：硅烷氣體對人體無害，使用過程中安全可靠。

總的來說，硅烷供氣是一種純度高、雜質(zhì)含量低、穩(wěn)定性好、使用安全的氣體供氣方式。

硅烷是一種有毒有害氣體，使用時需要注意以下事項：

1. 避免直接接觸：硅烷氣體具有毒性，直接接觸可能會對人體造成傷害。因此，使用硅烷時需要佩戴好專業(yè)防護(hù)手套、護(hù)目鏡等防護(hù)用品。
2. 避免吸入：硅烷易揮發(fā)，使用時要避免吸入。建議在通風(fēng)設(shè)備良好的室內(nèi)進(jìn)行，確保空氣流通，避免有害氣體在室內(nèi)滯留。
3. 避免火源：硅烷易燃，使用時要避免接觸火源。強(qiáng)烈振動或撞擊可能會引發(fā)事故，需要注意安全。
4. 存放安全：硅烷的存放環(huán)境溫度不應(yīng)高于40℃，且需要遠(yuǎn)離熱源和火源。庫房的地面、屋頂、四周的圍墻應(yīng)具有良好的阻燃效果，并配備良好的通風(fēng)設(shè)施。
5. 廢氣處理：在使用硅烷過程中，如果產(chǎn)生廢氣，需要按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行排放或處理，避免對環(huán)境造成污染。

總之，使用硅烷時需要注意安全操作和存放安全，避免發(fā)生意外事故。同時，需要遵守相關(guān)規(guī)定和標(biāo)準(zhǔn)，確保使用的安全性和合法性。

一氧化碳集中供氣系統(tǒng)通常包括以下組成部分：

1. 氣源：一氧化碳?xì)怏w通常來自工業(yè)過程或天然氣加工過程中的副產(chǎn)品。氣源可以是工業(yè)工廠、天然氣處理設(shè)施或其他合適的氣體供應(yīng)源。
2. 輸送管道：一氧化碳?xì)怏w通過管道輸送到需要使用的地方。這些管道可能是高壓管道、低壓管道或真空管道，具體取決于氣體的性質(zhì)和輸送距離。
3. 氣體處理和壓縮裝置：在輸送過程中，可能需要對一氧化碳?xì)怏w進(jìn)行處理，例如去除雜質(zhì)或進(jìn)行壓縮，以確保氣體符合用戶的要求。
4. 計量和分配系統(tǒng)：在將一氧化碳?xì)怏w輸送到最終用戶之前，可能需要使用計量和分配系統(tǒng)來測量和控制氣體的流量和壓力。
5. 用戶終端：最終用戶終端是一氧化碳集中供氣系統(tǒng)的終點(diǎn)，可以是工業(yè)工廠、商業(yè)場所或住宅區(qū)等。這些終端需要配備適當(dāng)?shù)脑O(shè)備來接收和使用一氧化碳?xì)怏w。
   

一氧化碳集中供氣的優(yōu)勢包括：

1. 成本效益：通過集中供應(yīng)，可以更有效地利用資源，降低單位成本，并實現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)。
2. 安全性：集中供氣可以更好地控制氣體質(zhì)量和純度，減少使用不純或低質(zhì)量氣體的風(fēng)險。
3. 可擴(kuò)展性：集中供氣系統(tǒng)可以根據(jù)需求進(jìn)行擴(kuò)展或縮減，以滿足不同用戶的需求變化。
4. 可持續(xù)性：如果使用可再生能源生產(chǎn)一氧化碳?xì)怏w，集中供氣可以實現(xiàn)能源的可持續(xù)利用。

然而，一氧化碳集中供氣也存在一些挑戰(zhàn)和風(fēng)險，例如氣體的純度不足、輸送管道的泄漏、氣體壓力不穩(wěn)定等。因此，在設(shè)計和實施一氧化碳集中供氣系統(tǒng)時，需要考慮這些因素并采取相應(yīng)的安全措施和質(zhì)量控制措施。