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四氟化碳 ，Carbon Tetrafluoride, CF4

CAS?NO ?75-73-0
UN?NO ?1982
EINECS NO ?200-896-5
Molecular weight ?88
Appearance ?Colorless, Odorless
Melting point ?-184 ℃
Boiling point ?-128.1 ℃
Density ?3.72 kg/m3
DOT Class ?2.2
Label ?Non-flammable Gas
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分類：

描述

四氟化碳，又名四氟甲烷，化學式為CF4，它既可以被視為一種鹵代烴（有機物），也可以被視為一種無機化合物，常溫常壓下為無色氣體，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

產品應用

它是最常用在微電子工業等離子體蝕刻氣體。

四氟化碳高純氣體和四氟化碳高純氣體的混合物和高純氧可廣泛用于蝕刻硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢薄膜材料。

也廣泛應用于電子設備的表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、泄漏檢查,除污劑在印刷電路板生產。

氣體純度

Specification99.999%
Oxygen + Argon≤ 1 ppm
Nitrogen≤ 2 ppm
Hydrogen≤ 0.3 ppm
Carbon Monoxide≤ 0.3 ppm
Carbon Dioxide≤ 0.3 ppm
Sulfur Hexafluoride≤ 0.3 ppm
THC≤ 0.3 ppm
Trifluoromethane≤ 0.3 ppm
OFC≤ 1 ppm
Moisture≤ 1 ppm
Acidity as HF≤ 0.1 ppm
若有其他純度或等級要求請聯系我們

包裝信息

Cylinder CapacityValveWeight
47LCGA58030kgs
若有其他需求請聯系我們

歡迎參觀

售后服務&物流服務

本公司配備有各類產品的專業危化運輸車輛，擁有一支作風優良、技術過碩、作業規范的物流隊伍，構建了完善的國內外物流配送體系，可以充分滿足客戶安全及時的配送需求。
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一、售后服務

1、遵守合同約定,保證產品質量及技術要求順利履行。
2、確保交付至客戶手中的產品三證齊全:合格證 COA MSDS。
3、若交付的產品有任何的質量問題我們無條件退換貨。

二、物流服務

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2、國際專業運輸物流服務產品出口證件齊全，與多家危險化學學品國際物流公司合作，提供多種運輸方式:國際海運、國際鐵路、國際道路運輸等。承諾服務務到港，滿足全球客戶需求。

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