描述

電子氣體混合氣體分類(lèi)

序號(hào)No.	Electron gas mixture summary
1	二氯硅烷（DCS)5000ppm + N2；二氯硅烷（DCS) 15ppm + N2
2	二氯硅烷（DCS)10 ppm + 三氯硅烷(TCS)10 ppm + 氦He
3	HCl 50ppm + 二氯硅烷（DCS)1000ppm + 平衡He
4	硅烷（H4Si）1% + 二氯硅烷（DCS)1% + 三氯硅烷(TCS)1% + 四氯化硅Cl4Si 1% +N2
5	硅烷（H4Si）50ppm + 三氯硅烷(TCS)1000ppm + He
6	三氯硅烷(TCS) 15ppm + N2
7	乙硅烷(Si2H4） 100ppm ～ 200ppm + H2
8	乙硅烷 10ppm + He
9	CO2 5ppm+硅烷（H4Si）135ppm + 乙硅烷 (Si2H4）1000ppm + He
10	SiH4 5ppm～15%+Ar(H2/N2/He)
11	H2 5ppm + Ar 5ppm +N2 5ppm +CO 5ppm + CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷（H4Si）1000ppm 的平衡He
12	乙硼烷（B2H6） 50～100ppm + H2
13	砷烷（AsH3） 100ppm～0.7% + H2
14	鍺烷（GeH4） 1%～10% + H2
15	三氯化硼（BCl3）1%～5% + N2（He）
16	PH3 0.8ppm ～ 500ppm + He(H2)
17	HCl 9ppm～50% + N2
18	NF3 99.99% 180g～1500g
19	NF3 20ppm～30ppm + Air
20	NF3 15ppm + N2
21	CF4 80% + O2
22	Ar 5ppm～80% + Ne（H2/He/N2）
23	Kr 8%～50% + Ar
24	Ne 80%～97% + Ar

產(chǎn)品應(yīng)用

也用于半導(dǎo)體制造過(guò)程化學(xué)汽相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、epitSome氣體可直接用作半導(dǎo)體的來(lái)源,如硅源、硼源、磷源和化學(xué)氣相沉積(CVD)的來(lái)源。axy、擴(kuò)散、多晶硅、鎢酸離子注入,載流子,燒結(jié)等。

在大規(guī)模集成電路(LSI),超大規(guī)模集成(VLSI)、半導(dǎo)體和電子設(shè)備生產(chǎn)加工過(guò)程,電子氣體主要用于氣相外延生長(zhǎng),化學(xué)氣相沉積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、蝕刻、離子注入、濺射、退火、系統(tǒng)壓力,清潔清洗、吸覆蓋、氧化和還原過(guò)程。

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售后服務(wù)&物流服務(wù)

本公司配備有各類(lèi)產(chǎn)品的專(zhuān)業(yè)危化運(yùn)輸車(chē)輛，擁有一支作風(fēng)優(yōu)良、技術(shù)過(guò)碩、作業(yè)規(guī)范的物流隊(duì)伍，構(gòu)建了完善的國(guó)內(nèi)外物流配送體系，可以充分滿足客戶安全及時(shí)的配送需求。
多年來(lái)公司堅(jiān)持以信息化的手段推進(jìn)物流管理，對(duì)車(chē)輛及供氣設(shè)施進(jìn)行24小時(shí)全程監(jiān)控，運(yùn)輸服務(wù)人客戶訂單-運(yùn)送分配-在途管理-到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)均能在線監(jiān)管，給予客戶最優(yōu)質(zhì)的運(yùn)輸服務(wù)。

一、售后服務(wù)

1、遵守合同約定,保證產(chǎn)品質(zhì)量及技術(shù)要求順利履行。
2、確保交付至客戶手中的產(chǎn)品三證齊全:合格證 COA MSDS。
3、若交付的產(chǎn)品有任何的質(zhì)量問(wèn)題我們無(wú)條件退換貨。

二、物流服務(wù)

1、國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)運(yùn)輸物流服務(wù)自有危險(xiǎn)化學(xué)品專(zhuān)用運(yùn)輸車(chē)隊(duì)與十多家大型專(zhuān)業(yè)危險(xiǎn)化學(xué)品物流公司長(zhǎng)期合作，服務(wù)路線遍至全國(guó)，保證送貨上門(mén)，承諾服務(wù)到家。
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