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氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。
氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。
常見的激光混合物組成和主要用途:
類別 | 混合氣組成/(10-2) | 用途 | ||||||||||
H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCl | 平衡氣 | ||
氦氖激光混合氣 | 2-8.3 | He | 用于工業生產,科學研究和國防建設等領域 | |||||||||
CO2激光混合氣 | 0.4 | 13.513.08.06.016.08-12 | 4.57.08.08.016.06-8 | 2.04.02.04.0 | 主要用于激光加工,如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫療上的激光外科等 | |||||||
氪氟激光混合氣 | 5.0 | 10.01-0.2 | 用于保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光 | |||||||||
密封束激光氣 | 18.5 | 3 | 2.5 | 作研究用的密封束激光氣 | ||||||||
準分子激光氣 | 25.8 | 9.8 | 0.004 | 150.2 | 5.0 | ArHeHeAr | 準分子激光器用于醫療上的外科手術 |
用于工業生產,科學研究和國防建設等領域
準分子激光用于醫療手術
用于激光加工,如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔
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