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Monday to Friday: 9AM - 6PM
CAS?NO | ?75-46-7 |
UN?NO | ?1984 |
EINECS NO | ?200-872-4 |
Molecular weight | ?70.01 |
Appearance | ?Colorless, odorless |
Melting point | ?-160 ℃ |
Boiling point | ?-84℃ |
Density | ?1.246 |
DOT Class | ?2.2 |
Label | ?Non-flammable Gas |
三氟甲烷,是一種有機化合物,化學式為CHF3,常溫常壓下為無色氣體,溶于水、乙醇、丙酮,主要用作低溫致冷劑、滅火劑和制造四氟乙烯的原料。
在電子產業中,三氟甲烷可用作等離子體化學蝕刻劑,在二氧化硅膜刻蝕方面具有速度快、選擇性優等特點。
主要用作低溫致冷劑、滅火劑和制造四氟乙烯的原料。
Specification | 99.9% |
---|---|
Moisture | ≤ 2 ppm |
Acidity (as HF) | ≤0.1 mg/kg |
Reside on evaporation | ≤0.01 % |
Foul gas in air phase | ≤0.1 % |
Carbon Dichloride | ≤30 ppm |
Specification | 99.999% |
---|---|
Moisture | ≤10 ppm |
Acidity (as HF) | ≤0.1 ppm |
Nitrogen | ≤4 ppm |
Oxygen | ≤1 ppm |
Carbon Monoxide | ≤0.5 ppm |
Carbon Dioxide | ≤0.5 ppm |
Methane | ≤0.5 ppm |
Other Organics | ≤ 1ppm |
Cylinder Capacity | Valve | Weight |
---|---|---|
40L | XF-4 | 30 kgs |
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